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    CCD自动对位曝光机

    项目类别 : 曝光机

    项目名称 : CCD自动对位曝光机

    项目介绍 : 

            A.一般规格
    曝光系统 光源:卤化金属灯,输出功率5KW,双灯
    均匀度:≥85%(min/max)
    强度:40mw/cm²
    有效曝光面积:546*622mm
    Panel规格 尺寸:254*304.8mm至558.8*635mm(10*12"至22"*25")
    厚度:0.05mm(不含铜)至2.0mm
    玻璃尺寸 上:L800*W718*8t      下:L716*W628*8t
    PCB靠操作面中间对位
    曝光作业 双面曝光/内层板用底片CCD自动对位系统,每片确认。对准精度±10um
    底片尺寸 24"*27"   Cycle Time:机械动作12秒+真空延迟+曝光时间
    密合模式 真空密合,真空度-300~-500mmHg(附表显示)
    操作方式 操作系统:PC系统+PLC+人机界面
    机台尺寸 外部尺寸:2962L*2622W*2040H mm
    输送面高度:1040mm+50mm(卸下轮子高度可降980)
    机台重量:3000Kg
    公用系统 电力:AC380V 3φ 50/60Hz  24KVA
    气压源:5~6Kg/cm2
    冰水系统:7~11℃,60-80L/min
                                 B.系统架构
    Panel传送系统 进出料传动:滚轮带动PCB
    进料定位:二段式靠边定位,前缘利用滚轮慢速传动定位,
    侧边以伺服马达靠边定位
    曝光室进出移载:配合线性滑轨,以伺服马达带动移载机构
    移载机取置:气缸带动取置架上下,真空吸盘组依板宽手动调整
    曝光台框 玻璃对玻璃方式采用高UV透光率玻璃
    上台框由伺服马达带动开关,上下框间由四支定位销定位
    底片吸附在台面真空槽,PCB以下台框真空吸附
    静电消除 于进料段装置上下静电消除棒
    冷却 灯源冷却:气冷,内循环直接气冷;灯管寿命保固800小时
    灯室冷却:灯头部份为空气冷却,灯管为间接气冷
    曝光室冷却:气冷,抽取曝光室内空气,经HEPA过滤后,再经冰水排系统冷却吹入曝光室内,保持曝光室内温度,并控制台面温度
    台面温度22℃±2℃
    洁净控制 机台使用99.97%~99.99%HEPA Filter   客户洁净室等级需求:Class 10000
    UV光源监控 光源保护:UV点灯/熄灯/重点灯保护
    功率控制:强弱灯切换
    状态监视:内建电压、员流、功率及UV强度感测显示
    遮光器:旋转开启,装置于灯室内,由马达带动
    曝光监控:内建UV能量积算显示
    KW数切换 2KW、5KW切换
    对位方式 4靶标CCD影像对位
    底片固定 台面玻璃沟槽吸真空
    调整机构 微步进马达驱动上台框微调机构
    控制方式 自动对位及触控式荧幕PC+PLC
    视觉光源 LED式CCD背光组
    底片对位精度 ±10μm内(不含涨缩)
    备注 外观为不锈钢

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