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设备支持接近式曝光,各种接触式(真空接触、软接触、硬接触等)曝光

文章出处:威尼斯人网址发表时间:2017/5/17 15:55:46

 UV灯构造

带托盘的晶片工作台
配CCD镜头的显微镜
 
监视器
掩膜夹具
UV灯透镜
UV灯镜片
UV灯电源系统
操作控制器
350W UV灯
晶片台
基底尺寸 标准尺寸 最大至4英寸;可选最大至6英寸;
托盘 标准尺寸 最大至4英寸;可选最大至6英寸;
活动范围:X:10mm Y: 10mm Z : 10mm Theta: 4 degree
挤入补偿 Air bearing型
Z轴滑动 手动
真空泵 无油真空泵
掩膜台
掩膜夹具类型 真空吸附和机械夹取
均匀光束大小 4.25“ X 4.25“
支持接近式曝光,各种接触式(真空接触、软接触、硬接触等)曝光
接触式曝光特征尺寸:
0.35 um@深紫外DUV:
0.5um@近紫外NUV;
0.6um@紫外UV;
接近式曝光特征尺寸:
1um @ Gap为20 um;
2um @ Gap为50 um;

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